Clean Room에 사용되는 소재류 분석지원
측정법 | 검출한계 | 응용 | |
---|---|---|---|
Organics Plasticizers, Phalate ester Antioxidants, esters,ethers, Hydrocarbons |
시료를 적당량 잘라 ATD Prepacked Sample Tubes(Tenax TA60/80)에 넣는다. ATD를 이용하여 시료를 휘발시킨 후 GC/MS로 정량,정성 분석을 실시한다. | ≥ 0.1 mg/g | Cleanroom에서 사용하는 재질에 대한 검사 후 감증된 재로사용으로VOC Outgassing량을 최소로 할 수 있다. |
Leachable Metals Most metals including Al,Cr,Fe,Ni,Cu, Ti,Zn,Ca,K,Mg |
Leachable trace metal들을 Extraction 용액을 이용하여 전처리 후 ICP/MS나 GF-AAS를 이용하여 분석한다 (Cleanroom에서 작업하며 금속함량이 1ppt이하를 가진 용출액 사용) | ≥ 0.05 ng/g
시료에 따라 차이가 있음. |
Fe와Ni는 Fluoropolymers 재질의 주된 오염원이다. Bulk metal은 Fluoropolymer가 PP,PE,PM등에 비해 일반적으로 낮은 수준임,주된 오염원은 사용하는 수지에 있음 |
Bulk Metals Most metals including Al,Cr,Fe,Ni,Cu, Ti,Zn,Ca,K,Mg |
Bulk Metal Impurities는 ashing 또는 가압분해등 시료 특성에 따라 다양한 방법으로 전처리 하여 ICP/MS나 GF-AAS를 이용하여 분석한다. | ≥ 0.1ng/g |
- Clean Fume Hood (PVC) 및 고순도 (<10ppt) 산(Acid) 사용
- Clean Room에서 시료 전처리 및 분석 작업 수행