극미량 금속오염 분석 지원 (ICP-MS)

• 분석성분 :
• - Metals (Aluminum을 포함한 11종
• - Nonmetals : Boron을 포함한 11종
• - Metalloids : Si를 포함한 6종
• 적용분야 :
• - Si Wafer, 반도체 박막 (PSG, BPSG, Poly-Si등)
• - Quartz류 , SUS류, 전자부품, PCB류
• - Organics compounds
• - 초순수, 음용수, 지하수
• - 반도체용 화공약품 (H3PO4, H2SO4, HF, SC-1, Solvent류)

• 분석장비 : ICP-MS
• 전처리 방법 : 직접분석, Acid Digestion