휴발성 유기화합물(VOCs)분석지원 1
Chemical Filteration 설비
- - VOC 등에 의한 수율 저하를 방지하기 위해 설치됨
- - (Gate Oxide. DUV lithography, Thin film, Diffusion 공정등)
시료포집
- - Chemical filter life time Monitoring
- - 반도체 Cleanroom, Bulk Gas (N2, Air등)
- - Display, Hard Disk Fabrication
- - 대기환경
분석
- - Equipment : ATD GC-MS (Automated Thermal Desorption GC-MS)
- - Out gassing Temperature : 50도 ~ 120도
- - 각종 시료 전처리 기구
- - 극미량 ICP-MS 운영기술
- - 극미량 GC-MS 운영기술
- - 전처리 농축, 전처리 추출, 전처리 분해기술
- - Evaporation
- - Solvent extraction
- - Ion exchange
- - Metal chelation
검출한계 :≥ 1.0ng/L