에코리서치 - 극미량분석 전문기업

Clean Room에 사용되는 소재류 분석지원

	측정법	검출한계	응용
Organics Plasticizers, Phalate ester Antioxidants, esters,ethers, Hydrocarbons	시료를 적당량 잘라 ATD Prepacked Sample Tubes(Tenax TA60/80)에 넣는다. ATD를 이용하여 시료를 휘발시킨 후 GC/MS로 정량,정성 분석을 실시한다.	≥ 0.1 mg/g	Cleanroom에서 사용하는 재질에 대한 검사 후 감증된 재로사용으로VOC Outgassing량을 최소로 할 수 있다.
Leachable Metals Most metals including Al,Cr,Fe,Ni,Cu, Ti,Zn,Ca,K,Mg	Leachable trace metal들을 Extraction 용액을 이용하여 전처리 후 ICP/MS나 GF-AAS를 이용하여 분석한다 (Cleanroom에서 작업하며 금속함량이 1ppt이하를 가진 용출액 사용)	≥ 0.05 ng/g 시료에 따라 차이가 있음.	Fe와Ni는 Fluoropolymers 재질의 주된 오염원이다. Bulk metal은 Fluoropolymer가 PP,PE,PM등에 비해 일반적으로 낮은 수준임,주된 오염원은 사용하는 수지에 있음
Bulk Metals Most metals including Al,Cr,Fe,Ni,Cu, Ti,Zn,Ca,K,Mg	Bulk Metal Impurities는 ashing 또는 가압분해등 시료 특성에 따라 다양한 방법으로 전처리 하여 ICP/MS나 GF-AAS를 이용하여 분석한다.	≥ 0.1ng/g

측정법

검출한계

응용

Organics

Plasticizers,

Phalate ester Antioxidants,

esters,ethers,

Hydrocarbons

시료를 적당량 잘라 ATD Prepacked Sample Tubes(Tenax TA60/80)에 넣는다. ATD를 이용하여 시료를 휘발시킨 후 GC/MS로 정량,정성 분석을 실시한다.

≥ 0.1 mg/g

Cleanroom에서 사용하는 재질에 대한 검사 후 감증된 재로사용으로VOC Outgassing량을 최소로 할 수 있다.

Leachable Metals

Most metals

including

Al,Cr,Fe,Ni,Cu,

Ti,Zn,Ca,K,Mg

Leachable trace metal들을 Extraction 용액을 이용하여 전처리 후 ICP/MS나 GF-AAS를 이용하여 분석한다 (Cleanroom에서 작업하며 금속함량이 1ppt이하를 가진 용출액 사용)

≥ 0.05 ng/g

시료에 따라 차이가 있음.

Fe와Ni는 Fluoropolymers 재질의 주된 오염원이다. Bulk metal은 Fluoropolymer가 PP,PE,PM등에 비해 일반적으로 낮은 수준임,주된 오염원은 사용하는 수지에 있음

Bulk Metals

Most metals

including Al,Cr,Fe,Ni,Cu,

Ti,Zn,Ca,K,Mg

Bulk Metal Impurities는 ashing 또는 가압분해등 시료 특성에 따라 다양한 방법으로 전처리 하여 ICP/MS나 GF-AAS를 이용하여 분석한다.

≥ 0.1ng/g