고체시료의 표면 이온 분석 지원

• 분석성분 : F-,Cl-,NO2-,Br-, NO3-, PO43-, SO42-, CH3COO-, HCOO- Na+, NH4+, K+, Mg2+, Ca2+
• 적용분야 : Si Wafer, 반도체 박막 (PSG, BPSG, Poly-Si등) Quartz류 , SUS류등을 포함한 모든 고체 시료의 표면 이온

• 분석장비 : Ion Chromatography (DX-600)
• 장치의 구성
• ■ Cations (Na+, NH4+, K+, Mg2+, Ca2+)
• ⇒ Column : CG12 Guard / CS12 Analytical Column
• ⇒ Suppression : CSRS-I
• ⇒ Eluent : 13.0mM MSA (CH4O3S)
• ■ Anion (F-, Acetate-, Formate-, Cl-,NO2-, NO3-, PO43-, SO42-)
• ⇒ Column : AG4A Guard / AS4A Analytical Column
• ⇒ Suppression : ASRS-II Ultra
• ⇒ Eluent : 1.0mM B4Na2O7/10H2O (for F, Acetate, Formate)
• 0.9mM Na2CO3 / 1.7mM NaHCO3 (for Cl-,NO2-, NO3-, PO43-, SO42-)